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349(L) x 420(W) x 337(H)mm
一體成型 FOUP, Front Opening Unified Pod / 前開式晶圓傳送盒，I300 FOUP 可保護、運送、並儲存300mm晶圓，在運輸傳載及儲存時提供安全防護。有效降低晶圓受到微塵汙染的風險，避免晶圓受靜電損害，進而促進良率。支援AMHS功能，尺寸符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。
一體成型 FOUP, Front Opening Unified Pod特點
● I300一體成型 FOUP有穩定且精准的空間特性，FOUP產品外觀上採一體成型設計，，無螺絲裝配，可杜絕螺絲鬆脫的風險。更能確保自動化操作安全和可靠，杜絕AMHS系統震動時螺絲鬆動風險。
● 具有耐磨耗晶圓支撐器、wafer防滑動supporter設計和可透視視窗。
● 依製程需求，可選擇一般款FOUP或是低吸濕性材質FOUP。
440(L) x 347(W) x 337(H)mm
300mm FOUP 前開式晶圓傳送盒/ 晶圓傳輸盒，可保護、運送、並儲存300mm晶圓，在運輸傳載及儲存時提供安全防護。有效降低晶圓受到微塵汙染的風險，避免晶圓受靜電損害，進而促進良率。支援AMHS功能，尺寸符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。專為薄化晶圓設計，領先業界，從1到13片皆可放片生產。
● 晶圓傳送盒FOUP / 晶圓傳輸盒，專為薄片晶圓設計，從1到13片皆可放片生產。專用支撐架(舌片款)，可有效改善晶片翹曲 thin wafer warpage(bending)的問題，無舌片款高相容於各種機械手臂。
● 全產品設計皆符合SEMI Standard
● wafer supporter可符合不同厚薄度wafer承載需求。
● 可選擇性搭配RFID或RunCard，利於產品追蹤。
FOSB x 12 set
自動化智能工廠的產品設計相對應，支援自動化夾取開蓋、提取出貨盒，可提高智能存儲效率，它被批准為晶圓運輸的標準包裝。
● 增加功能：緩衝擊、震盪、溫度、濕度等環境遠端監控功能。
● 改善產品運送與儲存的損壞情況、改善報廢問題。防竊、防破壞、緩衝震頻、震動監控，增加外掛式RFID定位追蹤， 智慧出貨盒、智慧棧板能辨識貨物種類等功能。
W3480 x H2140 x D500 mm
RFID 電子貨架 為200mm SMIF POD 專用RFID讀取貨架，可自動讀取RFID，可記錄每個格位最近100筆RFID資料，並透過人機介面查詢。
● EtherNet FTP Server 資料存取
● PLC 控制器及7 吋彩色人機介面。
● 紀錄每個格位最近100筆 RFID 資料，並透過人機介面顯示查詢。
頻率：40/80KHz(E)、28/80KHz(U)、25/45KHz(Q)
超音波清洗機之每一種頻率有其可去除汙染之限定對象，清洗頻率越高，能清洗的物件就越精細，可去除的粉塵(particle)也越小，對被清洗物也越不會造成震傷，選用清洗機可依據前述之要件，以利達到最佳洗淨成效。
● 桶槽尺寸：可依需求訂製。
● 功率：300(A)~ 7200W。
頻率：40/80KHz(E)、28/80KHz(U)、25/45KHz(Q)
超音波清洗機之每一種頻率有其可去除汙染之限定對象，清洗頻率越高，能清洗的物件就越精細，可去除的粉塵(particle)也越小，對被清洗物也越不會造成震傷，選用清洗機可依據前述之要件，以利達到最佳洗淨成效。
● 桶槽尺寸：可依需求訂製。
● 功率：300(A)~ 7200W。